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otsukael積分光度計(jì)

otsukael積分光度計(jì)除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SLS-6500HL
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-06-26
  • 訪  問  量:3746
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  otsukael靜態(tài)光散射光度計(jì) 積分光度計(jì)SLS-6500HL的介紹
 
  除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。
 
  特征:
 
  可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)
 
  能夠分析納米級(jí)多層薄膜的膜厚
 
  通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜
 
  支持通過可變反射角測(cè)量對(duì)薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
 
  通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊(cè)功能提高可操作性
 
  測(cè)量項(xiàng)目
 
  橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測(cè)量
 
  光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析
 
  膜厚分析
 
  測(cè)量對(duì)象
 
  半導(dǎo)體ウェーハ
 
  ゲート酸化薄膜,窒化膜
 
  SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
 
  レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)
 
  化合物半導(dǎo)體
 
  AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
 
  FPD
 
  配向膜
 
  各種新素材
 
  DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜
 
  光學(xué)薄膜
 
  TiO2,SiO2,反射防止膜
 
  リソグラフィー分野
 
  g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評(píng)価
 
 
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